适用领域

半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等领域

适用工艺

有机清洗 LIFT-OFF 去胶

超声清洗 兆声清洗 QDR清洗

设备配置

l 支持选配多工艺槽体

l 支持选配超声波功能

l 配有CO₂自动灭火系统

l 工艺药液可回收，循环过滤使用