适用工艺

RCA标准清洗        沉积前清洗      蚀刻后清洗     CMP后清洗

湿法刻蚀清洗          TGV后清洗     湿法去胶清洗   炉管前清洗

适用尺寸

可实现多尺寸兼容

设备配置

l 支持多种清洗液（SC1,SC2,SC3,DHF,IPA,BOE等）

l 加热控制，流量控制，压力控制

l 漏液报警，漏电保护，液位保护，急停、声光报警

l 集中供液，废液回收，循环过滤